高精度智能化洁净室系统的制作方法
发布时间:2022-01-18
浏览次数:219
洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%-15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
洁净室系统能耗高,且大空间的洁净室系统还存在精度难以控制的问题。
本实用新型的一个目的是解决至少上述问题或缺陷,并提供至少后面将说明的优点。
本实用新型还有一个目的是提供一种高精度智能化洁净室系统,通过洁净度测量单元判断不同区划内的空气洁净程度,发现某一区域的洁净度不达标时,通过将换气箱抽真空后移动到该区域对应的通气口处,顶升气缸上顶使得密封环密封通气口与换气口,空气净化机打开第二出气管向进气层、工作层注入洁净空气,使得工作层比外界高出一定压强后,打开换气口,将对应区划内的不达标空气吸入换气箱,关闭换气口后,顶升气缸下降,换气箱移动至初始处与空气净化机连通,通过空气净化机首先将换气箱中的不达标气体过滤、排出,并对换气箱内形成通风气流进一步清洁后,最后再通过空气净化机将换气箱抽真空准备下一次的操作,如此,通过精确的有针对性的清理,节省能源,整体精度提高,并且随着洁净度的不同需要可以调整洁净度测量单元控制换气箱进行清理的频率。