半导体晶圆制造材料车间洁净行车_半导体器件晶圆的生产过程中,易受外来物、灰尘粒子、金属离子等外来物的影响而破坏表面结构,这种产品特性也决定了其制造过程中必须有洁净度的要求。同时,在半导体晶圆的测试过程中,测试间也必须置于洁净室中,洁净度的控制也同样重要,洁净室的洁净度控制不好,会导致空气中的含尘量过高,从而导致外来物的增加,进而影响到测试的准确度、稳定性。严重还会导致探针测试卡的损坏。
1. 因其对生产环境的恒温恒湿温控制要求很高(温度控制在22℃±1℃,相对湿度控制在43%±3%);
2. 生产大环境的空气洁净等级为千级(ISO 6级);
3. 光刻等特殊区域的空气净化等级十级(ISO 4级);
4. 规范要求空气净化等级(ISO 1-4级)的净化室采用垂直层流:上技术夹层(送风静压箱)中的空气通过FFU(风机过滤机组)输送至洁净生产层,气流通过高架地板及华夫板孔洞送至洁净下技术夹层,再经过回风夹道中的DCC(干冷盘管)回到上技术夹层,循环往复。
昆峰重工专注于研究洁净起重机设计、生产、制造、售后等一系列服务十余年,无尘起重机应用技术相对熟练,经验也比较丰富,广泛应用于半导体行业、硅、锗等元素半导体及砷化镓/氮化镓等化合物半导体;半导体晶圆制造材料/半导体封装材料;集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等等高精密车间,希望广大客户放心购买,欢迎垂询!
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